안녕하세요, (주)로이엔텍입니다.
오늘은 실리콘 포토닉스(SiPh) 광전자 소자 테스트를 위해 설계된 MPI TS3000-DS 프로브 시스템을 소개합니다.
💡 TS3000-DS 란?
TS3000-DS는 양면 300 mm 자동 웨이퍼 프로브 시스템입니다. 실리콘 포토닉스(SiPh) 광전자 소자 테스트를 위해 설계되었으며, 양면 프로빙 기능을 제공합니다. 양면 프로빙은 웨이퍼 상단에서는 전기적으로 소자에 접촉하고 하단에서 광섬유 배열을 정렬하는 방식으로 진행되며, TSMC COUPE™ 기술 등에 필요한 방식입니다.
💡 특징 및 장점
✅ 정밀한 광 정렬 지원
실리콘 포토닉스 측정에서는 광 정렬 정확도가 매우 중요합니다.
TS3000-DS는 0.1 dB 광 정렬 반복성을 지원하며, 정밀한 광학 특성 측정을 위한 환경을 제공합니다.
또한 시스템에는 6축 포지셔너가 적용되어 있어, 광섬유 배열의 미세한 위치 조정이 가능하며
이를 통해 다양한 디바이스 구조에서도 안정적인 광 결합을 지원합니다.
✅ 다양한 광 커플링 구조 대응
TS3000-DS는 아래와 같은 광 커플링 방식을 지원합니다.
* Grating Coupling
* Edge Coupling
다양한 실리콘 포토닉스 디바이스 구조에 대응할 수 있으며, 측정 환경에 맞는 구성이 가능합니다.
또한 광 프로브 위치를 정확하게 제어하기 위해 Z-Distance Sensor도 지원됩니다.
✅ 온도 테스트 환경 지원
상온 뿐 아니라 온도 변화 환경에서도 측정을 지원합니다.
상온부터 150°C까지 온도 테스트를 지원하고, 온도 변화 환경에서도 반복 가능한 광 정렬 성능을 제공하도록 설계되었습니다.
부분적으로 휘어진 웨이퍼 스택에도 대응할 수 있도록 강한 진공 기능을 제공합니다.
✅ 고핀수(High Pin Count) 전기 측정 지원
TS3000-DS는 High Pin Count 프로브 카드를 지원하며, 4.5인치 폭 원형 포맷 / 최대 10,000핀 수직 프로브 카드 옵션 구성이 가능합니다. 다양한 DC 및 RF 마이크로포지셔너를 사용할 수 있으며, 최대 250 GHz 측정까지 지원합니다.
또한 고속 RF 측정 환경이 필요한 애플리케이션에서도 활용 가능한 구성이 특징입니다.
✅ SENTIO® 소프트웨어 기반 제어
시스템 제어는 MPI의 SENTIO® Probe Station Control Software 기반으로 이루어집니다.
SENTIO®는 멀티터치 기반 인터페이스를 제공하며
* SiPh 정렬 스테이지 통합
* SmartFence™ 기능
* 자동 테스트를 위한 원격 명령 세트 등을 지원합니다.
해당 제품과 관련하여 궁금한 내용이 있으시면, 아래 문의처로 연락 부탁 드립니다.
☎️ 로이엔텍 문의처
sales@roientec.co.kr / ds2@roientec.co.kr 또는 홈페이지 오른쪽 하단 배너 문의하기
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오늘은 실리콘 포토닉스(SiPh) 광전자 소자 테스트를 위해 설계된 MPI TS3000-DS 프로브 시스템을 소개합니다.
TS3000-DS는 양면 300 mm 자동 웨이퍼 프로브 시스템입니다. 실리콘 포토닉스(SiPh) 광전자 소자 테스트를 위해 설계되었으며, 양면 프로빙 기능을 제공합니다. 양면 프로빙은 웨이퍼 상단에서는 전기적으로 소자에 접촉하고 하단에서 광섬유 배열을 정렬하는 방식으로 진행되며, TSMC COUPE™ 기술 등에 필요한 방식입니다.
✅ 정밀한 광 정렬 지원
실리콘 포토닉스 측정에서는 광 정렬 정확도가 매우 중요합니다.
TS3000-DS는 0.1 dB 광 정렬 반복성을 지원하며, 정밀한 광학 특성 측정을 위한 환경을 제공합니다.
또한 시스템에는 6축 포지셔너가 적용되어 있어, 광섬유 배열의 미세한 위치 조정이 가능하며
이를 통해 다양한 디바이스 구조에서도 안정적인 광 결합을 지원합니다.
✅ 다양한 광 커플링 구조 대응
TS3000-DS는 아래와 같은 광 커플링 방식을 지원합니다.
* Grating Coupling
* Edge Coupling
다양한 실리콘 포토닉스 디바이스 구조에 대응할 수 있으며, 측정 환경에 맞는 구성이 가능합니다.
또한 광 프로브 위치를 정확하게 제어하기 위해 Z-Distance Sensor도 지원됩니다.
✅ 온도 테스트 환경 지원
상온 뿐 아니라 온도 변화 환경에서도 측정을 지원합니다.
상온부터 150°C까지 온도 테스트를 지원하고, 온도 변화 환경에서도 반복 가능한 광 정렬 성능을 제공하도록 설계되었습니다.
부분적으로 휘어진 웨이퍼 스택에도 대응할 수 있도록 강한 진공 기능을 제공합니다.
✅ 고핀수(High Pin Count) 전기 측정 지원
TS3000-DS는 High Pin Count 프로브 카드를 지원하며, 4.5인치 폭 원형 포맷 / 최대 10,000핀 수직 프로브 카드 옵션 구성이 가능합니다. 다양한 DC 및 RF 마이크로포지셔너를 사용할 수 있으며, 최대 250 GHz 측정까지 지원합니다.
또한 고속 RF 측정 환경이 필요한 애플리케이션에서도 활용 가능한 구성이 특징입니다.
✅ SENTIO® 소프트웨어 기반 제어
시스템 제어는 MPI의 SENTIO® Probe Station Control Software 기반으로 이루어집니다.
SENTIO®는 멀티터치 기반 인터페이스를 제공하며
* SiPh 정렬 스테이지 통합
* SmartFence™ 기능
* 자동 테스트를 위한 원격 명령 세트 등을 지원합니다.
해당 제품과 관련하여 궁금한 내용이 있으시면, 아래 문의처로 연락 부탁 드립니다.
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