안녕하세요, (주)로이엔텍입니다.
오늘은 MPI의 수동 프로브 시스템 TS150 / TS200 / TS300 을 소개합니다.
MPI Manual Probe System 이란?
MPI TS150, TS200, TS300은 각각 150 mm, 200mm, 300mm 웨이퍼를 지원하는 수동 프로브 시스템을 말합니다. 이 시스템은 사용자가 쉽고 직관적으로 조작할 수 있도록 설계되었고, 높은 정확도의 측정을 지원하는 다양한 기능들을 제공합니다.
✅ Failure Analysis
✅ Design Validation / IC Engineering
✅ Wafer Level Reliability (WLR)
✅ MEMS
✅ High Power Applications
✅ Device Characterization and Modeling
주요 특징 및 장점
📌 Air-Bearing Stage 적용
MPI의 독자적인 Air-Bearing Stage 설계는 한 손으로 간편하게 웨이퍼를 조작할 수 있도록 구성되어 있으며, 이를 통해 아래와 같은 장점을 제공합니다.
☑️ 빠른 XY 이동 및 웨이퍼 로딩
☑️ 직관적인 조작 편의성
☑️ 정밀한 위치 제어 유지
☑️ 25x25 mm XY-Theta 마이크로미터 이동 기능 지원
빠른 탐색 능력과 정밀한 위치 제어를 동시에 만족시키는 것이 특징입니다.
📌 Probe Hover Control™이 적용된 Unique Platen Lift
정확한 측정을 위해서는 프로브와 패드 간의 안정적인 접촉이 매우 중요합니다.
MPI의 Manual Probe System은 1 µm 반복 정밀도를 갖는 Platen Lift 설계를 적용하여 높은 접촉 재현성을 제공합니다.
Platen Lift는 총 3가지 위치를 지원합니다.
☑️ Contact Position
☑️ Separation Position (300 µm)
☑️ Loading Position (3 mm)
또한 Safety Lock 기능을 통해 예상치 못한 프로브 또는 웨이퍼 손상을 방지할 수 있습니다. 특히 TS200 및 TS300 모델에는 Probe Hover Control™ 기능이 추가되어 다음 Hover Height를 지원합니다.
☑️ 50 µm
☑️ 100 µm
☑️ 150 µm
이를 통해 프로브와 패드 정렬 작업을 보다 쉽고 편리하게 수행할 수 있습니다.
📌 Height Adjustment Scale 지원
다양한 측정 환경을 지원하기 위해 Probe Platen에는 25 mm의 미세 높이 조절 기능이 제공됩니다.
또한 1 mm 단위의 정밀 스케일 표시를 통해 현재 위치를 직관적으로 확인할 수 있어 설정 편의성을 높였습니다.
📌 Compact & Rigid Platen Design
컴팩트하면서도 견고한 구조의 Platen 설계를 통해 다양한 프로빙 구성이 가능하며, 지원 구성은 다음과 같습니다.
☑️ 최대 10개의 DC MicroPositioner
☑️ 최대 4개의 RF MicroPositioner
이를 통해 다양한 측정 애플리케이션 요구사항에 대응할 수 있습니다.
📌 다양한 Chuck 옵션 제공
사용 목적과 예산에 따라 다양한 Chuck 옵션을 선택할 수 있습니다.
지원 옵션은 아래와 같습니다.
✅ MPI Coaxial Chuck
✅ MPI Triaxial Chuck
✅ ERS Thermal Chuck
ERS Thermal Chuck의 경우 최대 300°C 온도 측정 환경을 지원하며, Thermal Touch Controller와의 연동을 통해 빠르고 편리한 운용이 가능합니다.
해당 제품과 관련하여 궁금한 내용이 있으시면, 아래 문의처로 연락 부탁 드립니다.
☎️로이엔텍 문의처☎️
sales@roientec.co.kr / ds2@roientec.co.kr 또는 홈페이지 오른쪽 하단 배너 문의하기
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오늘은 MPI의 수동 프로브 시스템 TS150 / TS200 / TS300 을 소개합니다.
MPI TS150, TS200, TS300은 각각 150 mm, 200mm, 300mm 웨이퍼를 지원하는 수동 프로브 시스템을 말합니다. 이 시스템은 사용자가 쉽고 직관적으로 조작할 수 있도록 설계되었고, 높은 정확도의 측정을 지원하는 다양한 기능들을 제공합니다.
✅ Failure Analysis
✅ Design Validation / IC Engineering
✅ Wafer Level Reliability (WLR)
✅ MEMS
✅ High Power Applications
✅ Device Characterization and Modeling
📌 Air-Bearing Stage 적용
MPI의 독자적인 Air-Bearing Stage 설계는 한 손으로 간편하게 웨이퍼를 조작할 수 있도록 구성되어 있으며, 이를 통해 아래와 같은 장점을 제공합니다.
☑️ 빠른 XY 이동 및 웨이퍼 로딩
☑️ 직관적인 조작 편의성
☑️ 정밀한 위치 제어 유지
☑️ 25x25 mm XY-Theta 마이크로미터 이동 기능 지원
빠른 탐색 능력과 정밀한 위치 제어를 동시에 만족시키는 것이 특징입니다.
📌 Probe Hover Control™이 적용된 Unique Platen Lift
정확한 측정을 위해서는 프로브와 패드 간의 안정적인 접촉이 매우 중요합니다.
MPI의 Manual Probe System은 1 µm 반복 정밀도를 갖는 Platen Lift 설계를 적용하여 높은 접촉 재현성을 제공합니다.
Platen Lift는 총 3가지 위치를 지원합니다.
☑️ Contact Position
☑️ Separation Position (300 µm)
☑️ Loading Position (3 mm)
또한 Safety Lock 기능을 통해 예상치 못한 프로브 또는 웨이퍼 손상을 방지할 수 있습니다. 특히 TS200 및 TS300 모델에는 Probe Hover Control™ 기능이 추가되어 다음 Hover Height를 지원합니다.
☑️ 50 µm
☑️ 100 µm
☑️ 150 µm
이를 통해 프로브와 패드 정렬 작업을 보다 쉽고 편리하게 수행할 수 있습니다.
📌 Height Adjustment Scale 지원
다양한 측정 환경을 지원하기 위해 Probe Platen에는 25 mm의 미세 높이 조절 기능이 제공됩니다.
또한 1 mm 단위의 정밀 스케일 표시를 통해 현재 위치를 직관적으로 확인할 수 있어 설정 편의성을 높였습니다.
📌 Compact & Rigid Platen Design
컴팩트하면서도 견고한 구조의 Platen 설계를 통해 다양한 프로빙 구성이 가능하며, 지원 구성은 다음과 같습니다.
☑️ 최대 10개의 DC MicroPositioner
☑️ 최대 4개의 RF MicroPositioner
이를 통해 다양한 측정 애플리케이션 요구사항에 대응할 수 있습니다.
📌 다양한 Chuck 옵션 제공
사용 목적과 예산에 따라 다양한 Chuck 옵션을 선택할 수 있습니다.
지원 옵션은 아래와 같습니다.
✅ MPI Coaxial Chuck
✅ MPI Triaxial Chuck
✅ ERS Thermal Chuck
ERS Thermal Chuck의 경우 최대 300°C 온도 측정 환경을 지원하며, Thermal Touch Controller와의 연동을 통해 빠르고 편리한 운용이 가능합니다.
해당 제품과 관련하여 궁금한 내용이 있으시면, 아래 문의처로 연락 부탁 드립니다.
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