Solution

MPI Silicon Photonics

MPI Wafer Probe Station Upgrades for 200 and 300 mm systems

기존 TS2000, TS3000 시리즈를 가지고 계시다면, MPI SiPH 업그레이드가 가능합니다.


추가적인 Floor Space가 필요하지 않아서 장착에 용이합니다.


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PROBING 방식을 위한 Optical Fiber 셋업은  원하시는 구성에 따라 변경이 가능합니다.


1. 양쪽 모두 Optical 


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2. 한쪽만 Optical

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동쪽,서쪽으로만 Optical Setup 하고, 북,남쪽으로는 다른 셋업을 진행하시기에도 용이합니다.


모든 Optical Test 하시는곳에서 가장 중요시 여기는 Alignment는 

다중 채널의 Alignment 와 싱글 채널 Alignment 가 있습니다.

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■ 다중 채널 Fiber Arrays
■ 6자유도(X, Y, Z + 3축 회전) 헥사포드 구조
→Fiber Arrays의 고정밀 회전 정렬 가능

■ 내장형 100 µm X, Y, Z 나노 포지셔너
→ High Repeatability을 위한 자동 정렬 기능


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■ Single Fiber용 (원사이드 또는 더블사이드 구성)
■ MPI PMP60 13 mm X, Y, Z* 조정 스테이지
→ 모터 구동 방식으로 Automated In-Die Stepping 지원

■ 내장형 100 µm X, Y, Z 나노 포지셔너
→ High Repeatability을 위한 자동 정렬 기능


저희 MPI에서는 Hexapod 를 대신할 수 있는 광측정 방식도 있습니다.

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■ MPI PMP80 X, Y, Z* 조정 스테이지
■ Roll, Yaw, Pitch 수동 회전 조정 기능
→ 첫 번째 다이에서 Fiber Array Alignment 수행

■ 내장형 100 µm X, Y, Z 나노 포지셔너

 > Automatedalignmentfor high repeatability 

* X, Y 이동 범위: 25 mm


SiPH 측정을 위한 Hexapod 사용유무에 따른 여러 방식에 대한 솔루션을 제공드리니 한번 확인해보세요.

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다음에 더 좋은 게시글로 돌아오겠습니다 :)


솔루션 문의는 sales@roientec.co.kr 로 부탁 드립니다.


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